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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DEU-Jena - Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2026041400552466855 / 252887-2026
Veröffentlicht :
14.04.2026
Anforderung der Unterlagen bis :
19.05.2026
Angebotsabgabe bis :
19.05.2026
Dokumententyp : Ausschreibung
Produkt-Codes :
38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
DEU-Jena: Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte
(außer Gläser) Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für
Elektronenstrahllithografie

2026/S 72/2026 252887

Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Hotplate zur
Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
OJ S 72/2026 14/04/2026
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferleistungen

1. Beschaffer

1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Friedrich-Schiller-Universität Jena
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung
des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung

2. Verfahren

2.1. Verfahren
Titel: Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
Beschreibung: Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists
beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die
Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw.
FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die
Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-
Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus
diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe
Anlage 2.
Kennung des Verfahrens: 308081f0-14d6-4e63-950d-bf5467850b37
Interne Kennung: EU-OV/2026-28
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein

2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)

2.1.2. Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland

2.1.4. Allgemeine Informationen
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -

2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten
Verpflichtungen: Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV
sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff.
23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der
Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden
ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der
Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf
Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen.

5. Los

5.1. Los: LOT-0001
Titel: Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
Beschreibung: Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists
beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die
Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw.
FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die
Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-
Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus
diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe
Anlage 2.
Interne Kennung: EU-OV/2026-28

5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferleistungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)

5.1.2. Erfüllungsort
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland

5.1.3. Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt

5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein

5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung

5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Beschreibung des Auswahlkriteriums: Unternehmensdarstellung o Allgemeine
Unternehmensdarstellung o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr. o Anschrift
(Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auftraggeber betreuen würde) o
Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse o Organisationsstruktur des Unternehmens,

Geschäftsfelder/-zweige o Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.
Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister
oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem
das Unternehmen ansässig ist

Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung des Auswahlkriteriums: #Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre
(ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen
der Ausschreibung maßgeblichen Geschäftsbereiches. Berücksichtigt werden Bieter, die
368.000 EUR im benannten Geschäftsbereich umgesetzt haben. #Bescheinigung/Nachweis
über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung einschließlich der Angabe der
Deckungssummen. Mindestanforderung: Die Betriebshaftpflichtversicherung hat mindestens
folgende Deckungssummen (bei mindestens zweifacher Maximierung je Versicherungsjahr)
pro Schadensfall aufzuweisen: Personenschäden: 1.000.000 , Sach- und Umweltschäden
500.000 , Vermögensschäden 100.000 . Sollte die Betriebshaftpflichtversicherung die
vorgenannten Deckungssummen derzeit nicht erreichen oder noch keine
Betriebshaftpflichtversicherung abgeschlossen sein, so ist der Bieter verpflichtet, im Falle der
Zuschlagserteilung die Deckungssummen entspre-chend zu erhöhen bzw. abzuschließen.

Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung des Auswahlkriteriums: #Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge Zur
Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei (3)
Referenzaufträge der letzten 3 Geschäftsjahre mit dem Angebot vorzulegen. Der jeweilige
Referenzauftrag muss mit der im vorliegenden Ausschreibungsverfahren zu vergebender
Leistung inhaltlich und vom Komplexitätsgehalt (= Leistungsanforderungen gemäß Anlage 2)
mindestens vergleichbar sein. Nur vergleichbare Referenzen können im Rahmen der
Eignungsprüfung berücksichtigt werden. Die Referenzen müssen mindestens die folgenden
Angaben enthalten: Name des Unternehmens (Referenzgeber) Ansprechpartner beim
Referenzgeber (Name, Telefon, E-Mail) Art der ausgeführten Leistung Ausführungszeitraum /
Vertragslaufzeit Die o.g. Referenzangaben sind mit dem Angebot vorzulegen.

5.1.10. Zuschlagskriterien
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien
ausgedrückt werden kann: Der Zuschlag wird nach § 58 VgV auf das unter Berücksichtigung
aller Umstände wirtschaftlichste Angebot erteilt. Zur Ermittlung des wirtschaftlichsten
Angebotes werden ausschließlich die nachfolgenden Kriterien angesetzt: 1)
Gesamtangebotspreis (netto; ohne Berücksichtigung von bedingten Rabatten, wie z. B.
Skonto; soweit der Auftraggeber im Rahmen der Lieferung Einfuhrabgaben (Zollgebühren) zu
entrichten hat, werden diese Kosten bei der Wertung berücksichtigt). x x/ max. 40 % (bis zu 40
Wertungspunkte) x Hierbei gilt, dass der beste (günstigste) Preis die maximale Prozentzahl
erhält. Das 2-fache des besten Preises entspricht 0%. Alle weiteren Angebote werden
entsprechend Ihrer Abweichungen linear interpoliert. Der geringste erreichbare Wert ist 0%. 2)
Gewünschte technische Ausführung mit zusätzlicher Wertung, max. 60 %, entspricht bis zu 60
Wertungspunkten - siehe Vergabeunterlagen.

5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.
html?id=852705

5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe

Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 19/05/2026 10:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit,
Mitteleuropäische Sommerzeit
Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 1 Monat
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der
Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung
/Einhaltung der gestellten Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen
Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein. Sofern einzelne
geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und
nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem
Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum
Wertungsausschluss des Angebotes. Eigenerklärungen: Eigenerklärung zum
Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1) Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der
Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022
/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von
zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5) Eigenerklärung über das
Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6)
Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7) Liegen die
Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das
Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG).
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungstermin: 19/05/2026 10:05:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische
Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Finanzielle Vereinbarung: Kauf auf Rechnung (Vorauszahlungsrechnung), 30 Tage
Zahlungsziel - Es wird mit Zuschlagserteilung eine Bürgschaft fällig. Hinweis: Eine
Vorauszahlung gegen Bankbürgschaft in Höhe des Bruttoauftragswertes wird in Absprache
vereinbart. Der Auftragnehmer reicht dazu umgehend nach Zu schlagserteilung eine
Rechnung und Bürgschaft ein. Die Kosten sind einzukalkulieren und werden nicht vergütet.
Anforderung: Bankbürgschaft eines europäischen Kreditinstituts / Bank, zudem
selbstschuldnerisch und unbefristet, Zinsen und Kosten ein-geschlossen, un ter Verzicht auf
die Einreden der Anfechtbarkeit, der Aufrechenbarkeit und der Voraus klage gemäß § 770,
771 BGB. Die Bürgschaft kann nach erfolgreicher Abnahme zurückge fordert werden. Eine
Befristung ist unzulässig.

5.1.15. Techniken

Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein

5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Informationen über die Überprüfungsfristen: Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen
Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt
werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen bestimmten
Form. Spätestens zehn Kalendertage vor dem beabsichtigten Vertragsabschluss informiert die
Vergabestelle den/die unterlegenen Bieter über den Namen des Bieters, dessen Angebot
angenommen werden soll, über die Gründe der vorgesehenen Nichtberücksichtigung ihres
Angebotes und den frühestmöglichen Zeitpunkt der Zuschlagserteilung. Die Vergabestelle
bestimmt eine mindestens zehn Tage betragende Frist, in der eine mögliche Beanstandung /
Rüge vorzubringen ist. Die Beanstandungen / Rügen sind schriftlich zu übermitteln an:
Friedrich-Schiller-Universität Jena Abteilung Einkauf 07743 Jena Zulässig sind
Beanstandungen und Rügen ausschließlich per E-Mail an: vergabestelle@uni-jena.de
Beanstandungen und Rügen sind dabei klar als diese zu benennen und zu kennzeichnen.
Rügen Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im
Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten.
Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden
Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160
Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der
Vergabekammer einreichen kann. Stelle für Nachprüfungsverfahren Zur Nachprüfung
behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen kann sich der Bieter an nachfolgende
Vergabekammer wenden: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt Jorge-
Semprún-Platz 4 99423 Weimar Vorsorglich möchten wir auf die Kostenfolge nach § 14 Abs. 5
ThürVgG für Nachprüfungsverfahren hinweisen.

8. Organisationen

8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Registrierungsnummer: DE150546536
Stadt: Jena
Postleitzahl: 07743
Land, Gliederung (NUTS): Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de
Telefon: 000
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer

8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Registrierungsnummer: 11111
Stadt: Weimar
Postleitzahl: 99423

Land, Gliederung (NUTS): Weimar, Kreisfreie Stadt (DEG05)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de
Telefon: 0361 57332 1254
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle

8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender

Informationen zur Bekanntmachung

Kennung/Fassung der Bekanntmachung: f8fa207d-e9c3-4b64-b5f0-0494f6f92b79 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 13/04/2026 09:47:17 (UTC+02:00)
Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 72/2026
Datum der Veröffentlichung: 14/04/2026

Referenzen:
https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992
https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?id=852705
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202604/ausschreibung-252887-2026-DEU.txt

 
 
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