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Ausschreibung: Deutschland Rastersondenmikroskope Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB. - DEU-Berlin
Rastersondenmikroskope
Dokument Nr...: 448903-2024 (ID: 2024072501350942930)
Veröffentlicht: 25.07.2024
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DEU-Berlin: Deutschland Rastersondenmikroskope Entwicklung & Lieferung
eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die
Gitterfertigung für das HZB.
2024/S 144/2024 448903
Deutschland Rastersondenmikroskope Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit
kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.
OJ S 144/2024 25/07/2024
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen
1. Beschaffer
1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.de
Rechtsform des Erwerbers:
Von einer zentralen Regierungsbehörde kontrolliertes öffentliches Unternehmen
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1. Verfahren
Titel: Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-
/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.
Beschreibung: Die in der Arbeitsgruppe Präzisionsgitter (WI-APG) bestehenden vier AFM-
Systeme sind essenziell für die Qualitäts- und Prozesskontrolle der Gitterfertigung und werden
dauerhaft und parallel genutzt. Eines der bestehenden, manuellen Messsysteme (Hand AFM
CO 404820) soll durch ein teilautomatisiertes System ersetzt werden, das sowohl in der
Fertigung als auch für F&E-Untersuchungen zum Einsatz kommen soll. Die zu entwickelnde
AFM-Stage kombiniert eine Translations- mit einer Rotationsstage, so dass mehrere Proben in
einer Messreihe automatisiert gemessen werden können (Batch-Messung), während
gleichzeitig die Probenrotation jeder einzelnen Probe bzgl. des Messkopfes automatisch
korrigiert werden kann. Die Translations-/Rotationsstage soll die Arbeiten erleichtern, den
Messaufwand verringern und somit eine Zeitersparnis einbringen. Bisher werden die Gitter-
Teststücke (Waferstücke mit etwa 1 mm Höhe, die mit Unterlage gemessen werden) per
Augenmaß ausgerichtet, anschließend einzeln manuell angefahren und gemessen.
Gegebenenfalls ist eine Korrektur der Probenausrichtung und eine erneute Messung nötig.
Das AFM-System mit Translations-/Rotationsstage ist hauptsächlich konzipiert, um mehrere
(Wafer-) Teststücke mit Gitterstrukturen automatisiert zu messen: Nach einmaliger
Lokalisierung der zu messenden Strukturen und entsprechender Zuweisung der Koordinaten
sollen die Proben einzeln angefahren, der Rotationswinkel vom System korrigiert und die
Messung durchgeführt werden. Mit dem neuen System sind auch weiterhin einzelne, einfache
Messungen entsprechend des bisherigen Vorgehens möglich, z.B. wenn keine
Rotationskorrektur erforderlich ist. Weiterhin soll das neue System Batch-Messungen an
Gitterträgern mit und ohne Rotationskorrektur ermöglichen. Dabei sollen Gitterträger bis zu
einer Höhe von 70 mm gemessen werden können. Generell soll die Möglichkeit bestehen,
Proben bis zu einer Länge von 300 mm in das Messsystem einzulegen. Die messbare
Probenlänge soll dabei 200 mm für Messungen mit und ohne Rotationskorrektur sein. Die
messbare Probenbreite soll mindestens 120 mm betragen. Dadurch ist zusätzlich die
Ausfallsicherheit in der Gitterproduktion erhöht, da kleinere Gitterträger an zwei AFM-
Systemen automatisiert gemessen werden können.
Kennung des Verfahrens: 626196c2-2324-4b2f-803f-33ee499fc511
Interne Kennung: V107
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38514200 Rastersondenmikroskope
2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Helmholtz-Zentrum Berlin (HZB) Albert-Einstein-Str. 15
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Diese Ausschreibung wird einfach und kostengünstig über das
elektronische Vergabeinformations-System subreport ELViS abgewickelt. Das Angebot und
alle weiteren Unterlagen sind in elektronischer Form auf diesem Portal abzugeben. Bitte
registrieren Sie sich kostenlos unter https://www.subreport.de . Erste Informationen und
Unterstützung bei der Registrierung erhalten Sie durch: subreport Verlag Schawe GmbH,
Buchforststr. 1-15, 51101 Köln, Tel.: +49 (0)2 21/9 85 78-23, Fax: +49 (0)221/9 85 78-66, E-
Mail: info@subreport.de , Internet: www.subreport.de Die Auftragsunterlagen stehen für einen
uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung. xxx Ihre
Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für die Ausschreibung relevanten Informationen, wie
Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen oder Vergabeunterlagen,
automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail Adresse erhalten. xxx Sofern Sie bereit sind, an
der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu Ihr Angebot ausschließlich in
elektronischer Form. Laden Sie dies bei www.subreport.de bis zum Ablauf der Frist zur
Abgabe (Eingangsdatum) hoch. Der Auftraggeber behält sich vor, unvollständige, nicht wie
gefordert abgegebene bzw. fehlende Nachweise, Erklärungen oder sonstige Angaben
nachzufordern. Ein Anspruch auf eine derartige Handhabung besteht nicht. Insbesondere
kann der Auftraggeber aus Gründen der Gleichbehandlung und/oder zeitlichen Erwägungen
unvollständige Angebote vom Vergabeverfahren ausschließen. xxx Fragen können via
Bieterkommunikation/Nachrichten ausschließlich elektronisch bis 7 Tage vor der
Angebotsabgabefrist gestellt werden. Zur Wahrung des gleichen Informationsstandes aller,
werden die anonymisierten Fragen und Antworten ausschließlich über subreport.de
veröffentlicht. Es liegt in der Verantwortung desxder Bietersxin, sich über ergänzende
Informationen in regelmäßigen Abständen zu informieren. xxx Die AGBs vom Auftragnehmer
sind ausgeschlossen und finden keine Anwendung. Sie werden vollständig ersetzt durch die
Allgemeinen Vertragsbedingungen für die Ausführung von Leistungen (VOL/B), Fassung
2003. Änderungen und Ergänzungen der Verdingungsunterlagen sind unzulässig.
Nebenangebote sind nicht zugelassen. xxx Das Angebot muss alle geforderten Angaben und
Erklärungen enthalten sowie rechtsverbindlich unterschrieben sein. Sämtliche Preisangaben
sind in EURO zu machen. Das FB 633 VHB Angebotsschreiben fordert die Angabe von
Brutto-Preisen. Dies gilt jedoch nur für Bieter aus der Bundesrepublik Deutschland. xxx
Enthalten die Verdingungsunterlagen nach Auffassung desxder Bietersxin Unklarheiten oder
sind diese zur Vertragsausführung unwirtschaftlich, fehlerhaft, unvollständig, nicht eindeutig
oder sind die Leistungen objektiv so nicht ausführbar, so hat derxdie Bieterxin die
ausschreibende Stelle unverzüglich schriftlich auf dieses und die erkennbaren Folgen
hinzuweisen. Der Einwand, dass sich derxdie Bieterxin über den Umfang der Leistung oder die
Art und Weise der Ausführung nicht genügend informieren konnte, ist ausgeschlossen. xxx
Unzulässig sind den Wettbewerb beschränkende Absprachen im Sinne des Gesetzes gegen
Wettbewerbsbeschränkungen, insbesondere Verabredungen oder Empfehlungen über die
Abgabe bzw. Nichtabgabe von Angeboten und über die zu fordernden Preise. xxx Das Angebot
kann nur bis zum Ablauf der Angebotsfrist geändert, berichtigt oder zurückgezogen werden.
Vom Ablauf der Angebotsfrist an bis zum Ablauf der Bindefrist ist der Bieter an sein Angebot
gebunden. xxx Das Angebot sowie alle Anlagen und die geforderten Nachweise müssen in
sämtlichen Teilen in deutscher Sprache vorliegen. Anderssprachige Unterlagen werden nicht
gewertet; es sei denn, es liegt eine beglaubigte Übersetzung bei. xxx Für Informationen zum
allgemeinen Rechtsrahmen können Bewerber sich an nachfolgend aufgeführte Stellen
wenden: Steuerrecht: www.bundesfinanzministerium.de Rubrik Steuern,
Bundesfinanzministerium, 11016 Berlin, Tel.-Nr.: 01888/682-0, Fax: 01888/682-4248,
Umweltrecht: www.bundesumweltministerium.de Rubrik Gesetze/Verordnungen,
Bundesumweltministerium, Postfach 120629, 53048 Bonn, Tel.-Nr.: 01888/305-0, Fax: 01888
/305-3225, Arbeitsschutz und Arbeitsbedingungen: www.bmas.bund.de Rubrik Arbeitsschutz;
Bundesministerium für Arbeit und Soziales, 53107 Bonn, Tel.-Nr.: 01888/527-0, Fax: 01888
/527-4900, Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen können
sich die Bieter an nachfolgend aufgeführte Stelle wenden: www. bundeskartellamt.de
Vergabekammern des Bundes, Bundeskartellamt, Telefon: +49 228 9499-0, Fax: + 49 228
9499-163
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv - Verordnung über die Vergabe öffentlicher Aufträge
2.1.5. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Der Bieter muss Angebote für alle Lose einreichen
2.1.6. Ausschlussgründe
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: und
sämtliche Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach GWB §§ 123 bis 126
5. Los
5.1. Los: LOT-0001
Titel: Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-
/Rotationsstage für die Gitterfertigung
Beschreibung: Entwicklung, Lieferung sowie Inbetriebnahme eines teilautomatisierten AFM-
Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.
Interne Kennung: V107
5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38514200 Rastersondenmikroskope
5.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Helmholtz-Zentrum Berlin (HZB) Albert-Einstein-Str. 15
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 12489
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
Zusätzliche Informationen: Die Aufstellung erfolgt in Gebäude 14.51 in Raum 3196, einem
Reinraum Klasse ISO 5. Entsprechende Maßnahmen/Vorkehrungen sind bei der Anlieferung
und Installation zu berücksichtigen.
5.1.3. Geschätzte Dauer
Datum des Beginns: 16/09/2024
Enddatum der Laufzeit: 30/09/2025
5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten
Personals sind anzugeben: Erforderlich für das Angebot
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein
5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9. Eignungskriterien
Kriterium:
Art: Eignung zur Berufsausübung
Beschreibung: Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet
Handelsregisterauszug (möglichst nicht älter als drei Monate) Unterschriebene
Eigenerklärungen: Ausschlussgründe nach den §§ 123,124 GWB
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens
eingeladen werden sollen
Kriterium:
Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Beschreibung: Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet
o Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie ggf. den Umsatz bezüglich der
besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, bezogen auf die letzten drei
Geschäftsjahre. Nachweis der Betriebshaftpflichtversicherung des Unternehmens
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens
eingeladen werden sollen
Kriterium:
Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Beschreibung: Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet
o Erklärung über die Anzahl der Beschäftigten des Unternehmens sowie ggf. die Anzahl der
davon beschäftigten Facharbeiter, bezogen auf die letzten drei Geschäftsjahre o Angaben zur
technischen Ausstattung o mind. Zwei Referenzen vergleichbarer Komplexität, möglichst nicht
älter als drei Jahre. Als vergleichbar gelten Referenzen, die das Design, die Installation sowie
erfolgreiche Inbetriebnahme eines kundenspezifischen AFM-Systems in Forschung oder
Industrie beinhalten. o Angaben zu Projekt-Mitarbeitenden/Ansprechpersonen
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens
eingeladen werden sollen
Kriterium:
Art: Sonstiges
Beschreibung: Unterschriebene Eigenerklärungen: o Sanktionen RUS o EU-Angaben zum
Bieter Vertretungsbefugnis bei juristischen Personen vollständig ausgefüllt und
rechtsverbindlich unterzeichnet Ggf. Bevollmächtigung des Vertreters bei
Bietergemeinschaften Kurze Unternehmenspräsentation
Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens
eingeladen werden sollen
Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens:
Der Erwerber behält sich das Recht vor, den Auftrag aufgrund der ursprünglichen Angebote
ohne weitere Verhandlungen zu vergeben
5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: A - Preis
Beschreibung: 5 Punkte erhält das Angebot mit dem niedrigsten Angebotspreis. Die weiteren
Angebote werden prozentual abgewertet. Die erreichte Punktzahl wird multipliziert mit dem
angegebenen Bewertungsfaktor (Gewichtung) des jeweiligen Kriteriums und ergeben die
erreichte Bewertungspunktzahl.
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 70
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: B-Abschluss Designphase
Beschreibung: Die Designphase sollte bis möglichst bis zum 10.12.2024 abgeschlossen sein.
Als Abschluss gilt die Übergabe der Konstruktionszeichnungen an den AG. Im Preisblatt hat
der Bieter das verbindliche Datum anzugeben, wann die Designphase abgeschlossen wird.
Das angegebene Datum wird entsprechend berücksichtigt und wie folgt bewertet: 5 Punkte:
Abschluss der Designphase bis einschließlich zum 10.12.2024 oder früher 3 Punkte:
Abschluss der Designphase zwischen dem 10.12.2024 bis einschließlich zum 31.01.2025 1
Punkt: Abschluss der Designphase zwischen dem 01.02.2025 bis einschließlich zum
28.02.2025 0 Punkte: Abschluss der Designphase nach dem 28.02.2025 Die erreichte
Punktzahl wird multipliziert mit dem angegebenen Bewertungsfaktor (Gewichtung) des
jeweiligen Kriteriums und ergeben die erreichte Bewertungspunktzahl.
Gewichtung (Prozentanteil, genau): 30
5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.subreport.de/E92258785
5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.subreport.de/E92258785
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 26/08/2024 10:00:00 (UTC+2)
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 35 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: siehe Bewerbungsbedingungen und Vergabeunterlagen
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 26/08/2024 10:15:00 (UTC+2)
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Informationen über die Überprüfungsfristen: Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3
GWB unzulässig, soweit der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen
Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem
Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat. Verstöße gegen
Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens
bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur
Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, Verstöße gegen
Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum
Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe. Der Nachprüfungsantrag ist
ebenfalls unzulässig, wenn mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des
Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Bundeskartellamt - Vergabekammern des Bundes
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Helmholtz-
Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt: Helmholtz-
Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Helmholtz-
Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien
und Energie GmbH (HZB)
Organisation, die Angebote bearbeitet: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie
GmbH (HZB)
TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts
des BMI)
8. Organisationen
8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Registrierungsnummer: Berichtseinheit-ID 00005522
Postanschrift: Hahn-Meitner-Platz 1
Stadt: Berlin
Postleitzahl: 14109
Land, Gliederung (NUTS): Berlin (DE300)
Land: Deutschland
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.de
Telefon: +49 30806213185
Internetadresse: http://www.helmholtz-berlin.de
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Federführendes Mitglied
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die einen Offline-Zugang zu den Vergabeunterlagen bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
Organisation, die Angebote bearbeitet
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Bundeskartellamt - Vergabekammern des Bundes
Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53113
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.de
Telefon: +49 22894990
Internetadresse: https://www.bundeskartellamt.de
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
11. Informationen zur Bekanntmachung
11.1. Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: cc1afeba-31cb-486a-ab1f-d38b207ca9b3 - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 23/07/2024 08:36:59 (UTC+2)
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
11.2. Informationen zur Veröffentlichung
ABl. S Nummer der Ausgabe: 144/2024
Datum der Veröffentlichung: 25/07/2024
Referenzen:
https://www.bundeskartellamt.de
https://www.subreport.de/E92258785
http://www.helmholtz-berlin.de
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202407/ausschreibung-448903-2024-DEU.txt
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Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
The Office for Official Publications of the European Communities
The Federal Office of Foreign Trade Information
Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de
