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Ausschreibung: Industrielle Maschinen - DE-Neubiberg
Industrielle Maschinen
Dokument Nr...: 523312-2022 (ID: 2022092609062486985)
Veröffentlicht: 26.09.2022
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  DE-Neubiberg: Industrielle Maschinen
   2022/S 185/2022 523312
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Rechtsgrundlage:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Offizielle Bezeichnung: Universität der Bundeswehr München
   Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39
   Ort: Neubiberg
   NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
   Postleitzahl: 85577
   Land: Deutschland
   Kontaktstelle(n): ZV I.3
   E-Mail: [6]zv13@unibw.de
   Telefon: +49 8960043403
   Fax: +49 8960042691
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [7]http://www.evergabe-online.de/
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [8]https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=479490
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [9]http://www.evergabe-online.de
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
   einschließlich regionaler oder lokaler Unterabteilungen
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Andere Tätigkeit: Lehre und Forschung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Trockenchemische Ätzanlage (RIE)
   Referenznummer der Bekanntmachung: M/HSB1/MT741/EIT2.1_MP
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   42000000 Industrielle Maschinen
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme
   einer Trockenchemischen Ätzanlage (RIE) inkl. Schulung
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DE21H München, Landkreis
   Hauptort der Ausführung:
   Neubiberg
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die
   Beschaffung einer trockenchemischen Ätzanlage (einer RIE (reaktive ion
   etch) Anlage). Dabei wird ein erprobtes System gesucht, welches zur
   Ätzung von dielektrischen Schichten (z.B. Siliziumnitrid, Siliziumoxid,
   Polymere und Fotolacke) und von Silizium geeignet ist. Die zu ätzenden
   Schichten befinden sich dabei auf Siliziumsubstraten. Substratformate
   sind hier vorwiegend Wafer mit den Durchmessern 100 mm, 150
   mm und 200 mm; es sollen aber auch kleinere Formate und Bruchstücke in
   der Anlage geätzt werden. Es werden auch doppelseitig polierte Wafer
   prozessiert.
   Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
   nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Beginn: 14/11/2022
   Ende: 29/09/2023
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: ja
   Beschreibung der Optionen:
   Siehe Leistungsbeschreibung.
   Die Anlage muss mit einem in die Software integrierbaren
   Laserinterferometer-System nachrüstbar sein - bestehend aus Lichtquelle
   (670nm, x-y Tisch und Eintrittsfenster (>= 25 mm)). Der Preis für das
   System ist als Option im Angebot anzugeben.
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
   Siehe Vergabeunterlagen (bei Bietergemeinschaften möglichst von jedem
   Mitglied).
   Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2
   VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen
   Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte
   belegt.
   b) Bestätigung, dass der Bieter eine
   Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung gem. §12 des Vertrages
   unterhält oder im Falle der Auftragserteilung abschließen wird.
   Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2
   VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
   Der Hersteller/Bieter muss als Referenz 10 Anlagen aus den letzten 3
   Jahren in Deutschland nennen, davon mind. 5 vom angebotenen Typ.
   Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2
   VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Offenes Verfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 25/10/2022
   Ortszeit: 13:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   Das Angebot muss gültig bleiben bis: 14/12/2022
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Tag: 25/10/2022
   Ortszeit: 13:00
   Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:
   entfällt
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
   Aufträge werden elektronisch erteilt
   Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
   Die Zahlung erfolgt elektronisch
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattform einzusetzenden elektronischen
   Mittel sind die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen
   Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform. Diese werden über die mit
   "Anwendungen" bezeichneten Menüpunkte auf [10]www.evergabe-online.de
   zur Verfügung gestellt. Hierzu gehören für Unternehmen der
   Angebots-Assistenten (AnA) und der Signatur-Client für Bieter
   (Sig-Client) für elektronische Signaturen sowie das LV-Cockpit
   ([11]www.lv-cockpit.de).
   Die technischen Parameter zur Einreichung von Teilnahmeanträgen,
   Angeboten und Interessensbestätigungen verwendeten elektronischen
   Mittel sind durch die Clients der e-Vergabe-Plattform und die
   elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform bestimmt. Verwendete
   Verschlüsselungs- und Zeiterfassungsverfahren sind Bestandteil der
   Clients der e-Vergabe-Plattform sowie der Plattform selber und der
   elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform.
   Weitergehende Informationen stehen auf
   [12]https://www.evergabe-online.info bereit.
   1) Die Angebote sind elektronisch in Textform (§ 126b BGB) über das in
   Ziffer I.3) genannte Vergabeportal einzureichen. Nähere Informationen
   stehen auf der Startseite des in Ziffer I.3) genannten Vergabeportals
   zur Verfügung.
   2) Die gesamte Kommunikation zwischen Auftraggeber und Bietern (auch
   Rückfragen zum Angebot) findet ausschließlich über das in Ziffer I.3)
   genannte Vergabeportal statt. Der Auftraggeber wird alle Fragen und
   Antworten auf dem in Ziffer I.3) genannten Vergabeportal anonymisiert
   zur Verfügung stellen.
   3) Die Bildung von Bietergemeinschaften (BG) ist nur bis zur Abgabe des
   Angebots möglich. Die Angaben zur Zusammensetzung der BG sind
   grundsätzlich bindend. Ein Austausch einzelner Mitglieder der BG vor
   Auftragsvergabe bedarf der Zustimmung des Auftraggebers. Die Abgabe von
   Angeboten durch BG ist nur bei gesamtschuldnerischer Haftung mit
   bevollmächtigtem Vertreter möglich. Hierzu ist eine von allen
   Mitgliedern unterschriebene Vollmachtmittels einer
   Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche
   Mitglieder der BG namentlich mit Anschrift einen bevollmächtigten
   Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die
   Durchführung des Vertrages zu bezeichnen. Der Auftraggeber behält sich
   ausdrücklich vor, diese Angaben nachzufordern. Bei der Eignungsprüfung
   wird die BG als Ganzes beurteilt.
   4) Mehrfachbewerbungen, als Einzelbieter sowie als Mitglied
   einer/mehrerer BG, sind nicht zulässig. Soweit mehrere Unternehmen im
   Rahmen der Vergabe miteinander kooperieren (z. B. über ein gemeinsames
   Tochterunternehmen, als Nachunternehmer oder im Rahmen einer BG),
   behält sich der Auftraggeber vor, Nachweise dafür zu fordern, dass die
   Kooperation als Ganzes sowie die Teilnahme der einzelnen Unternehmen an
   der Kooperation zulässig ist, insbesondere keine unzulässige
   wettbewerbsbeschränkende Abrede getroffen wurde. Für jeden Teilnehmer
   der Kooperation wäre dann zu begründen, inwieweit sein Entschluss zur
   Teilnahme an der Kooperation eine im Rahmen von zweckmäßigen und
   kaufmännisch vernünftigen
   Handelns liegende Entscheidung ist, z. B. weil der jeweilige Teilnehmer
   zur Zeit der Bildung der Kooperation überhaupt nicht oder jedenfalls zu
   dieser Zeit nicht über die erforderliche Kapazität zur Durchführung des
   hier ausgeschriebenen Auftrages verfügt oder aus anderen Gründen erst
   die Kooperation den jeweiligen Teilnehmer
   in die Lage versetzt, ein erfolgversprechendes Angebot abzugeben.
   5) Auf die Möglichkeit der Eignungsleihe nach § 47 VgV wird
   hingewiesen. Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als
   Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der
   Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen
   hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die
   Eignung des Nachunternehmers beruft, ist mit dem Angebot insbesondere
   eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass
   dieser seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bewerber im Auftragsfall
   zur Verfügung stellt.
   6) Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Website
   hinterlegten Vordrucke verwenden (soweit vorhanden, sonst eigene
   Formulare verwenden). Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im
   Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein
   Rechtsanspruch.
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Offizielle Bezeichnung: Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes
   Postanschrift: Villemombler Straße 76
   Ort: Bonn
   Postleitzahl: 53123
   Land: Deutschland
   Telefon: +49 22894990
   Fax: +49 2289499163
   Internet-Adresse: [13]https://www.bundeskartellamt.de
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
   § 160 GWB Einleitung, Antrag
   (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag
   ein.
   (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem
   öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in
   seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 GWB durch Nichtbeachtung von
   Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem
   Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein
   Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.
   (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit
   1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen
   Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und
   gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn
   Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 GWB
   bleibt unberührt,
   2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung
   erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der
   Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe
   gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
   3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den
   Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der
   Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
   gerügt werden,
   4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des
   Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
   Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit
   des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2 GWB. § 134 Absatz 1 Satz 2
   GWB bleibt unberührt.
   § 134 GWB Informations- und Wartepflicht
   [14]https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__134.html
   § 135 Unwirksamkeit
   [15]https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__135.html
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   21/09/2022
References
   6. mailto:zv13@unibw.de?subject=TED
   7. http://www.evergabe-online.de/
   8. https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=479490
   9. http://www.evergabe-online.de/
  10. http://www.evergabe-online.de/
  11. http://www.lv-cockpit.de/
  12. https://www.evergabe-online.info/
  13. https://www.bundeskartellamt.de/
  14. https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__134.html
  15. https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__135.html
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