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Ausschreibung: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - DE-Erfurt
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Dokument Nr...: 518255-2022 (ID: 2022092309165681689)
Veröffentlicht: 23.09.2022
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  DE-Erfurt: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
   2022/S 184/2022 518255
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Rechtsgrundlage:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Offizielle Bezeichnung: CiS Forschungsinstiut für Mikrosensorik GmbH
   Ort: Erfurt
   NUTS-Code: DEG01 Erfurt, Kreisfreie Stadt
   Land: Deutschland
   E-Mail: [6]clauf@cismst.de
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [7]www.cismst.de
   I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
   Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [8]https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YEN6R35/documents
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [9]https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YEN6R35
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Andere: mit öffentlichen Mitteln geförderte Forschungseinrichtung
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   EffizientPro
   Referenznummer der Bekanntmachung: 2022 WIN 0014
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Im Rahmen des Projektes "Innovative CVD-Technologie - energieeffizient,
   ressourcenschonend und emissionsarm" möchte die CiS Forschungsinstitut
   für Mikrosensorik GmbH in eine Hochtemperatur-CVD-Anlage (CVD -
   Chemical Vapor Deposition) der neuesten Generation mit verschiedenen
   Möglichkeiten zum flexiblen Einsatz in der Schichtabscheidung auf
   großflächige Substrate investieren.
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   Wert ohne MwSt.: 1 000 000.00 EUR
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DEG01 Erfurt, Kreisfreie Stadt
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Hochtemperatur-Anlage 01 Stck.
   Lieferumfang:
   CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt eine Anlage zur
   thermischen Oxidation und Temperung für doppelseitig prozessierte 4-
   und 6- Zoll Wafer.
   Vorhandene Medien sind:
   - Stromanschluss 3-phasig, 230/400 V
   - Gase: Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff
   - Kühlwasserkreislauf
   - technische Abluft
   - Ethernetanschluss
   - Reinstluft für Pneumatik (> 6 Bar)
   - Aufstellfläche + Wartungsbereich 8000 mm x 3700 mm
   - Max. Anlagenhöhe: 2800 mm
   - DCE-Bubbler
   Die Anlage soll mit den vorhandenen Medien und zusätzlichem
   Wärmetauscher zu betreiben sein. Prozessdaten sollen über den
   Ethernetanschluss zu exportieren sein.
   Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwegen können auf Anfrage
   zugestellt werden.
   Anlagenbeschreibung:
   Technische Daten:
   Anforderungen an das Basissystem:
   - Hochtemperatur-Anlage für 4-Zoll und 6-Zoll Wafer, automatisches
   Beladen von beiden Wafergrößen mit einem Pitch von 4,76 mm und 9,52 mm
   ohne Umbau möglich
   - Der Anlagenkorpus soll für 4 Rohre ausgestattet sein, wobei 2 davon
   bestückt sind
   - Prozessführung:
   o 2 Rohre, atmosphärischer Prozess
   - 1x Stickstoff-/Wasserstoff Tempern <450°C mit Sicherheitsverschluss
   der Tür und H2-Fackel
   - 1x Nassoxidation mit H2-Verbrennung + DCE-Oxidation bis 1050 °C
   o Grenzparameter:
   - Reproduzierbarkeit (Wafer zu Wafer): < +/-3 %
   - Charge zu Charge Stabilität: < +/-2 %
   o Prozessanforderungen:
   - Trockenoxidation SiO2-Schicht (70 nm):
   - Scheibenhomogenität: < 3 %
   - Chargenhomogenität: < 5 %
   - Brechungsindex (Lambda=632,8 nm): 1,46+/-0,02
   - Partikelzuwachs (> 0,3 µm/> 1,6 µm): 50/10
   - Natriumionen-Konzentration: <=0,15 x 10e11/cm e2
   - mittlere Dichte der festen Oxidladung
   (-0,6 +/- 0,3) *10e11 cm e-2
   - mittlere Durchbruchfeldstärke >= 8 MV/cm
   - Nassoxidation mit H2-Verbrennung SiO2-Schicht (190 nm):
   - Scheibenhomogenität: < 3 %
   - Chargenhomogenität: < 5 %
   - Brechungsindex (Lamdba=632,8 nm): 1,46+/-0,02
   - Partikelzuwachs (> 0,3 µm/> 1,6 µm): 50/10
   - Natriumionen-Konzentration: < +/- 0,5 x 10e11/cm e2
   - mittlere Dichte der festen Oxidladung < +/- 0,5 10e11 cm e-2
   - mittlere Durchbruchfeldstärke >= 8 MV/cm
   - Anforderungen an Wafer-Handling:
   o Waferanzahl: 100 6-Zoll-Wafer
   o Waferhandling ausschließlich im 6 mm breiten Randbereich
   (doppelseitig polierte Wafer)
   o Kassettenstation, 25 Wafer pro Kassette, e-Pak kompatibel
   o Flat aligner für 6-Zoll Wafer
   o Vollautomatisches Beladen von Waferkassette auf Boote für 6-Zoll- und
   4-Zoll Wafer
   o Boote werden vom Paddle im Rohr abgesetzt, das Paddle ist während des
   Prozesses nicht im Rohr
   o Möglichkeit Boote vorzubeladen und automatisch zu starten
   - Temperaturregelung:
   o Länge des Bereichs konstanter Temperatur (Flat Zone) 600 mm
   o 5 Heizzonen
   o Maximale Abweichung der Temperatur in Flat Zone +/- 0,5 °C
   o Heizkassetten und Festkörperrelais wassergekühlt um Einflüsse
   zwischen den Rohren zu verhindern
   o Regelung auf Thermoelemente im Rohr
   o Bei Bruch eines inneren Thermoelements wird automatisch auf ein
   äußeres Thermoelement umgeschaltet
   o Redundante Temperaturmessung am Rohr
   - Druckregelung:
   o Rohrdichtheitstest implementiert
   o Automatischer Lecktest der Rohre vor Start der Oxidation
   o Druckmessung für automatische Druckkompensation um Schwankungen des
   Umgebungsdruckes durch das Wetter auszugleichen
   - EtherCAT Bus-Kommunikation zwischen Komponenten
   - Bereitstellung der Prozessparameter und der Rezepte, die zum
   Erreichen der oben spezifizierten Schichteneigenschaften nötig sind
   - Installation durch die Wand, Grau-/Reinraumtrennung
   Anforderungen an die Software:
   - Graphische Benutzeroberfläche in deutscher und englischer Sprache
   - Prozesssteuerung
   - Rezeptorganisation
   - Datenexport in grafischer und digitaler Form
   - Visualisierung und Analyse von Prozessdaten
   - Versionskontrolle der Rezepte
   Inkl. Zubehör:
   - Steuer-PC:
   - mit Anlagensoftware s.o.
   - LAN-Anschluss, 1000 Mbit/s
   - Betriebssystem Windows 10 Professional, englisch und deutsch
   - Monitor, Full HD, 19-Zoll
   - Tastatur und Maus
   - Fernwartung durch Remote Access
   - NAS-Server zur Speicherung der Rezepte und Prozessdaten. NAS-System
   mit RAID 1 und 2 x 1 TB Festplatte. Alle Daten auf den Festplatten
   werden gespiegelt
   - Remote Control vom Büroarbeitsplatz
   bzw. Anschluss an bestehendes System
   - 6-Zoll Quarzboote für alle Rohre (3° tilt; pitch: 4.76 mm)
   - Externer Wärmetauscher um das Anlagenkühlwasser von dem
   Standortkühlwasser zu trennen
   - Webcam zur Überwachung der Be- und Entladung der Wafer
   - Uninterruptible power supply (UPS)
   - Signalampel
   - Spülbares Gaskabinett mit Gaslinien und MFCs, mit unabhängigem
   Sicherheitssystem für jedes Prozessrohr, Gassensoren zur Überwachung
   von HCl und H2
   - Zweites Steuerungspanel an der Hinterseite der Anlage im
   Grauraumbereich
   Weiteres:
   - Anlage mit Sicherheitssystem (Interlock), um Hauptgefahren für Leib
   und Leben abzuwenden, welches unabhängig von der Steuersoftware
   arbeitet (EN13849-1:2006)
   - Anlage beinhaltet Emergency Stop in der Software und mechanische
   Taster an der Anlage
   - zum Betrieb notwendige Geräte müssen im Lieferumfang der Anlage
   enthalten sein
   - Gewährleistung von 24 Monaten ab Endabnahme der Anlage, jedoch
   spätestens 3 Monate nach Lieferung
   - Transport, Versicherung, Zollgebühren, Aufstellung und Installation
   beim Kunden und Reisekosten sind im Endpreis inklusive
   - garantierte Verfügbarkeit von Ersatzteilen von mindestens 10 Jahren
   - kostenlose Servicehotline während der Gewährleistung
   Dokumente:
   - Bedienungsanleitung für alle Komponenten in deutscher und englischer
   Sprache
   - Installationsvorschrift
   - Wartungshandbuch
   - Technisches Handbuch
   - Angabe eines Servicekonzepts
   - Dokumentation der OEM-Teile
   - CE Kennzeichnung
   Expertise
   - Angabe von 2 Referenzen über vergleichbare Anlagen
   - Lieferant weist die technologischen Parameter an einer Demoanlage mit
   gleicher Ausstattung unter Reinraumbedingungen in Form von Testwafern
   nach.
   Ergänzungen unter "Zusätzliche Angaben".
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Die nachstehenden Kriterien
   Preis
   II.2.6)Geschätzter Wert
   Wert ohne MwSt.: 1 000 000.00 EUR
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Beginn: 24/10/2022
   Ende: 30/09/2023
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja
   Projektnummer oder -referenz:
   2022 WIN 0014
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Mittelherkunft aus europäischen Fonds für regionale Entwicklung
   (EFRE-OP 2014 bis 2020) als Teil der Reaktion der Union auf die
   COVID-19-Pandemie (REACT-EU):
   Förderprogramm: Richtlinie des Freistaats Thüringen zur Förderung von
   Forschung, Technologie und Innovation (FTI-Richtlinie) vom 18.08.2015
   (ThürStAnz. Nr. 36/2015 vom 07.09.2015, S. 1494-1512), geändert am
   17.12.2018, in Kraft getreten am 18.12.2018 (ThürStAnz.-Nr. 3/2019, S.
   201-203)
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter,
   jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer,
   auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein
   Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen
   will, vorzulegen:
   1) Formblatt L 124_EU Eigenerklärung zur Eignung mit Erklärungen zu:
   - Angabe über Ausschlussgründe gemäß § 42 VgV in Verbindung mit §§ 123
   und § 124 GWB
   - Angabe zu Insolvenzverfahren und Liquidation
   - Angabe zur Zahlung von Steuern und Abgaben und Beiträgen zur
   Sozialversicherung
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter,
   jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer,
   auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein
   Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will
   auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
   2) Berufs- bzw. Handelsregisterauszug
   3) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes - soweit
   Finanzamt Bescheinigungen ausstellt
   4) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung der tariflichen Sozialkasse -
   soweit Betrieb beitragspflichtig
   5) Freistellungsbescheinigung nach § 48b EstG
   6) Eintragung in der Handwerksrolle oder bei der Industrie- oder
   Handwerkskammer oder sonstiger Nachweis
   Da die Vergabestelle nach § 36 Abs. 5 Satz 1 VgV gehalten ist, vor der
   Zuschlagserteilung in Bezug auf reine Nachunternehmer die
   Voraussetzungen des §§ 123, 124 GWB zu prüfen, sind die Unterlagen 1) -
   6) ggf. vom Nachunternehmer
   (ohne Eignungsleihe) auf gesondertes Anfordern vorzulegen.
   Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor
   Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er
   gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des
   Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen.
   Der Nachweis einer Befähigung zur Berufsausübung kann auch durch die
   gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten
   Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter
   sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft vorzulegen:
   Nachweis einer Berufs- oder Betriebshaftpflichtversicherung für
   Personenschäden in Höhen von mindestens 2.000.000,00 EUR und für Sach-
   und Vermögensschäden in Höhe von 2.000.000,00 EUR gemäß Ziffer III der
   Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU)
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter
   sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft auf gesondertes Verlangen
   vorzulegen:
   7) Zusicherung der Versicherung bzw. entsprechender
   Versicherungsnachweis
   Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor
   Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er
   gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des
   Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der wirtschaftlichen
   und finanziellen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige
   Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten
   Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter,
   jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer,
   auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein
   Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen
   will, vorzulegen:
   Vorlage geeigneter Referenzen (mindestens zwei Referenzen) über früher
   ausgeführte Liefer- und Dienstleistungen der in den letzten drei Jahren
   erbrachten wesentlichen Leistungen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung
   zur Eignung (Formblatt L 124_EU).Der Auftraggeber akzeptiert auch
   Referenzen, welche mehr als drei Jahre zurückliegen gemäß Ziffer IV der
   Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU).
   Aus der Beschreibung der Referenz muss klar erkennbar sein, welche
   Leistungen der Bewerber oder das Mitglied der Bewerbergemeinschaft oder
   ein Dritter, auf dessen Leistungsfähigkeit abgestellt wird,
   selbstdurchgeführt hat. Die bloße untergeordnete Mitwirkung ist nicht
   ausreichend. Der Auftraggeber behält sich die Überprüfung der Angaben
   bei den Referenzauftraggebern sowie eigene Ermittlungen vor. Die
   Ergebnisse der eigenen Ermittlungen werden bei der Bewertung
   Berücksichtigung finden.
   Lieferant weist die technologischen Parameter an einer Demoanlage mit
   gleicher Ausstattung unter Reinraumbedingungen in Form von Testwafern
   nach.
   Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter,
   jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer,
   auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein
   Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will
   auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
   8) Bescheinigung über die ordnungsgemäße Ausführung und das Ergebnis
   der genannten Leistungen
   Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor
   Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er
   gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des
   Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der technischen und
   beruflichen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige
   Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten
   Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG). Es
   müssen mindestens zwei Referenzen vorgelegt werden.
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   Ausführungsbedingungen nach dem Thüringer Vergabegesetz:
   - Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz,
   gemäß § 17 ThürVgG - Kontrollen sowie § 18 ThürVgG - Sanktionen
   - Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit
   (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)
   - Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12
   Abs. 2 ThürVgG)
   Gemäß § 12a Abs. 2 ThürVgG weisen wir darauf hin, dass der Bestbieter
   im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG
   verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung
   innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen muss und dass, bei
   nicht fristgerechter Vorlage, das Angebot von der Wertung
   auszuschließen ist.
   Es handelt sich dabei um folgende Erklärungen und Nachweise:
   - Formblatt "Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG -
   Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG -Kontrollen sowie § 18
   ThürVgG - Sanktionen"
   - Formblatt "Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und
   Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
   - Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§
   11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
   Zudem müssen im Falle eines anfänglichen Nachunternehmereinsatzes
   spätestens vor der Auftragserteilung folgenden Formblätter beim
   Auftraggeber vorliegen:
   - Formblatt "Verpflichtung des Nachunternehmers zur Tariftreue,
   Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
   - Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§
   11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
   Der Bestbieter muss im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die
   nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise
   nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen.
   Bei nicht fristgerechter Vorlage ist das Angebot von der Wertung
   auszuschließen.
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Offenes Verfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 24/10/2022
   Ortszeit: 12:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   Das Angebot muss gültig bleiben bis: 31/01/2023
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Tag: 24/10/2022
   Ortszeit: 13:00
   Ort:
   Konrad-Zuse-Straße 14
   99099 Erfurt
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Ergänzung Beschreibung der Beschaffung:
   Liefer- und Anschlussbedingungen:
   - Maße des größten gelieferten Einzelteils (ohne Verpackung) L: 2m80,
   B: 2m20 (bei Überschreitung ist Rücksprache erforderlich)
   - Verpackung inklusive
   - Versand inklusive
   - Transportversicherung inklusive
   - Aufstellung inklusive, Einbringung 1. OG
   - Installation inklusive
   - Inbetriebnahme inklusive
   - Anschluss der Abluftlinien an die technische Abluft des Standortes
   - Anschluss der Prozessgase (Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff) zur
   Anlage, mit Lecktest und Partikel- und Feuchtetest, Leitungslängen ca.
   5 m
   - Elektrischer Anschluss der Anlage
   - Elektrischer Anschluss des Wärmetauschers
   - Kühlwasser-Leitungen zu Wärmetauscher, ca. 5 m
   - Wasserleitungen von Überdruckventil zu Ablauf an Standort, max. 10 m
   - Anschluss an Reinstluft, nahe Anlage
   - Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten
   Bekanntmachungs-ID: CXP4YEN6R35
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Freistaats Thüringen beim
   Thüringer Landesverwaltungsamt
   Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
   Ort: Weimar
   Postleitzahl: 99423
   Land: Deutschland
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
   "Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:
   1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen
   Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und
   gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10
   Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB
   bleibt unberührt,
   2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung
   erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der
   Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe
   gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
   3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den
   Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der
   Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber
   gerügt werden,
   4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des
   Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zuwollen, vergangen sind."
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   19/09/2022
References
   6. mailto:clauf@cismst.de?subject=TED
   7. http://www.cismst.de/
   8. https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YEN6R35/documents
   9. https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YEN6R35
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