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Ausschreibung: Rasterelektronenmikroskope - DE-Zwickau
Rasterelektronenmikroskope
Dokument Nr...: 513063-2021 (ID: 2021101109085660789)
Veröffentlicht: 11.10.2021
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DE-Zwickau: Rasterelektronenmikroskope
2021/S 197/2021 513063
Auftragsbekanntmachung
Lieferauftrag
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Westsächsische Hochschule Zwickau
Postanschrift: Kornmarkt 1
Ort: Zwickau
NUTS-Code: DED45 Zwickau
Postleitzahl: 08056
Land: Deutschland
E-Mail: [6]Beschaffungswesen@fh-zwickau.de
Telefon: +49 375-536-0
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: [7]www.fh-zwickau.de
I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[8]https://www.evergabe.de/unterlagen/2450976/zustellweg-auswaehlen
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
[9]https://www.evergabe.de
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten
Kontaktstellen
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Bildung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
Kombiniertes hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronen- und Raman-
Mikroskop
Referenznummer der Bekanntmachung: ÖA-EU 05-21
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38511100 Rasterelektronenmikroskope
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:
1.1. Feldfreies Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit
integriertem RAMAN System
1.2. Spannungsversorgung für das Gerät im Deutschen Netz mit folgenden
Werten (230 V; 50 Hz; Absicherung 16 A)
1.3. variable Beschleunigungsspannung, 0.1 30 keV
1.4. Erreichbare Auflösung < 1 nm (15 kV)
1.5. Probenstrom-Bereich (Beam/Probe- current) von mindestens 5 pA bis
300 nA oder mehr
1.6. Beam Deceleration (BD) Modus
1.7. Betriebsarten Hochvakuumbetrieb und Niedervakuumbetrieb
1.8. Pumpensystem ölfrei
1.9. Vollständige Pumpenperipherie (Umlaufkühler falls nötig,
Schläuche, Verteiler / Vorpumpensysteme im Nebenraum unterzubringen ca.
6 m vom Mikroskop entfernt)
1.10. Niedervakuum-SE-Detektor
1.11. Hochvakuum-SE-Detektor (Everhart-Thornley-Detektor)
1.12. In der Linse/Säule integrierte SE und BSE Detektoren in
verschiedenen Ebenen
1.13. Gesteuerter, pneumatisch oder elektrisch rückziehbarer
BSE-Detektor unter der Linse (Arbeitsbereich auch im
Niedervakuumbetrieb)
1.14. EDX-Analyse mit stickstofffreiem Detektor, standardfreie und
standardbezogene Analyse, (Z>5)
1.15. STEM / TE-System rückziehbar, simultane Darstellung im Hell-
und/oder Dunkelfeld (BF/DF/HADF)
1.16. Integrierter Plasmacleaner
1.17. 5-achsiger (XYZ, R und Tilt) Probentisch mit motorisierter
Probenbühne (X-/Y-Achsen mindestens 110 mm Verfahrweg; Z-Achse
mindestens 60 mm Verfahrweg; Rotation, stufenlose 360° Rotation;
Kippung (Neigung / Tilt) von mindestens -5° bis +90°)
1.18. Probengewicht von mindestens 1 kg bei einer Kippung / Tilt von
70°
1.19. Probengröße von mindestens 100 mm Durchmesser und mindestens 60mm
Höhe verfahr- rotier- und kippbar (mindestens 45°, im analytischen
Arbeitsabstand)
1.20. Integriertes optisches Beobachtungssystem zur Beobachtung der
Proben in die Kammer (IR-Kamera zur Navigation)
1.21. Minimale Bildbreite (Sichtfeld) bei 10 mm Arbeitsabstand von 2,5
mm
1.22. Bedienpult (Drehknöpfe und Funktionstasten / control panel /
Konsole)
1.23. Vollständige Software zum Betrieb des
Feldemitter-Rasterelektronenmikroskops
1.24. Vollständiges Softwarepaket zur Bildbearbeitung (Vermessung,
Einfärbung,
Stitching) und Speicherung der Bilder in den Formaten (.tif, .png, bmp,
.jpeg, .gif)
und weitere Eigenschaften gemäß Ausschreibungsunterlagen.
Eigenschaften des integrierten Raman-Systems:
2.1. Hoch-Präzise piezoelektrische laterale und axiale Bildgebung mit
250 x 250 x 250 m Verfahrweg für beugungsbegrenzte Abbildung der
Probenoberfläche
2.2. Köhler-Weißlichtbeleuchtung
2.3. Digitalkamera System für Hochauflösende RGB Bilder
2.4. Signal Stabilisation (für Langzeit Signal- und Fokusstabilisation)
2.5. Focus Stacking (erweiterte Fokustiefe wir Weißlichtaufnahmen)
2.6. Hohe Stabilität des konfokalen Messaufbaus während der kompletten
Lebensdauer des Systems durch flexible und gleichzeitig robuste
Kopplung der System-Komponenten (Faserkopplung)
und weitere Eigenschaften gemäß Ausschreibungsunterlagen.
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
Wert ohne MwSt.: 620 168.00 EUR
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DED45 Zwickau
Hauptort der Ausführung:
Zwickau, DE
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
Gerätebezeichnung: Hochauflösendes FE-Rasterelektronenmikroskop mit
integriertem Raman-System
Eigenschaften des hochauflösendes FE-Rasterelektronenmikroskop:
feldfreies Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit
integriertem Scanning RAMAN System
Spannungsversorgung für das Gerät im Deutschen Netz mit folgenden
Werten (230 V; 50 Hz; Absicherung 16 A)
variable Beschleunigungsspannung, 0.1 30 keV
Erreichbare Auflösung < 1 nm (15 kV)
Probenstrom-Bereich (Beam/Probe- current) von mindestens 5 pA bis 300
nA oder mehr
Beam Deceleration (BD) Modus
Betriebsarten Hochvakuumbetrieb und Niedervakuumbetrieb
Pumpensystem ölfrei
Vollständige Pumpenperipherie (Umlaufkühler falls nötig, Schläuche,
Verteiler / Vorpumpensysteme im Nebenraum unterzubringen ca. 6 m vom
Mikroskop entfernt)
Niedervakuum-SE-Detektor
Hochvakuum-SE-Detektor (Everhart-Thornly-Detektor)
In der Linse/Säule integrierte SE und BSE Detektoren in verschiedenen
Ebenen
Gesteuerter, pneumatisch oder elektrisch rückziehbarer BSE-Detektor
unter der Linse (Arbeitsbereich auch im Niedervakuumbetrieb)
EDX-Analyse mit stickstofffreiem Detektor, standardfreie und
standardbezogene Analyse, (Z>5)
STEM / TE-System rückziehbar, simultane Darstellung im Hell- und/oder
Dunkelfeld (BF/DF/HADF)
Integrierter Plasmacleaner
5-achsiger (XYZ, R und Tilt) Probentisch mit motorisierter
Probenbühne (X-/Y-Achsen mindestens 110 mm Verfahrweg; Z-Achse
mindestens 60 mm Verfahrweg; Rotation, stufenlose 360° Rotation;
Kippung (Neigung / Tilt) von mindestens -5° bis +90°)
Probengewicht von mindestens 1 kg bei einer Kippung / Tilt von 70°
Probengröße von mindestens 100 mm Durchmesser und mindestens 60mm
Höhe verfahr- rotier- und kippbar (mindestens 45°, im analytischen
Arbeitsabstand)
Integriertes optisches Beobachtungssystem zur Beobachtung der Proben
in die Kammer (IR-Kamera zur Navigation)
Minimale Bildbreite (Sichtfeld) bei 10 mm Arbeitsabstand von 2,5 mm
Bedienpult (Drehknöpfe und Funktionstasten / control panel /
Konsole)
Vollständige Software zum Betrieb des
Feldemitter-Rasterelektronenmikroskops
Vollständiges Softwarepaket zur Bildbearbeitung (Vermessung,
Einfärbung, Stitching) und Speicherung der Bilder in den Formaten
(.tif, .png, bmp, .jpeg, .gif)
Zu verwenden in deutscher UND englischer Sprache
Einzelbildauflösung (ohne Stitching) von mindestens 6144x4096 Pixel
oder größer
Möglichkeit zur Aufnahme von Videosequenzen
Aktive Schwingungsdämpfung
Mindestens 4 zusätzliche freie Kammer-Ports für Erweiterungen von
externen Geräten, in-situ Analytik
Windows ® 10, 64-bit basiertes Computersystem, mindestens zwei 32
Monitore (da für den Lehrbetrieb im Bereich von Gruppenvorführungen
notwendig) und Eingabesystem (deutsche Tastatur und Maus)
Arbeitsplatz mit Schreibtisch und Monitorhalterungen / Standfüße
Raumbegutachtung mit Messprotokoll (Schwingung, elektromagnetische
Felder usw.) vor der Auslieferung / Installation (Adresse,
Raumbezeichnung)
Lieferung des gesamten Gerätes bis spätestens 31.03.2022 (5 Monate
nach Zuschlag)
Anlieferung (Versand & Zoll-Gebühren) in den Aufstellungsraum;
(Adresse, Raumbezeichnung) inklusive
Vollständige Installation aller Komponenten
Abnahme (Dokumentation der vollen Funktion aller Komponenten,
Überprüfung und Darstellung der Leistungsmerkmale (maximal angegebene
Auflösung aller möglichen Detektoren, Mindestanforderung an
Probengröße, Probengewicht und Verfahrwege) im Übergabeprotokoll.) des
gesamten Gerätes spätestens bis zum 30.04.2022 (spätestens 6 Monate
nach Zuschlag)
Einweisung und Schulung auf Deutsch vor Ort am Gerät nach Abnahme (4
Tage; innerhalb eines halben Jahres durchzuführen)
Sprache der Software-Benutzeroberfläche Deutsch und Englisch
24 Monate Gewährleistung (oder länger) ab Abnahmedatum
Möglichkeit zur telefonischen Unterstützung, sowie der Möglichkeit
einer Fernwartung / Fehlerdiagnose (z.B. Teamviewer, oder ähnliche)
Gerätesupport von mindestens 12 Jahren
Eigenschaften des integrierten Raman-Systems:
Hoch-Präzise piezoelektrische laterale und axiale Bildgebung mit 250
x 250 x 250 µm Verfahrweg für beugungsbegrenzte Abbildung der
Probenoberfläche
Köhler-Weißlichtbeleuchtung
Digitalkamera System für Hochauflösende RGB Bilder
Signal Stabilisation (für Langzeit Signal- und Fokusstabilisation)
Focus Stacking (erweiterte Fokustiefe wir Weißlichtaufnahmen)
Hohe Stabilität des konfokalen Messaufbaus während der kompletten
Lebensdauer des Systems durch flexible und gleichzeitig robuste
Kopplung der System-Komponenten (Faserkopplung)
Garantiert beugungsbegrenzte Punktlichtquelle für optimale
Ortsauflösung auf der Probe bei gleichzeitig sehr hohem Lichtdurchsatz
durch moderne Faserkopplung der optischen Peripherie mit dem Mikroskop
Fokusgröße (laterale Auflösung) < 400nm FWHM bei 532nm
Anregungswellenlänge und 100x/0.70NA Vakuumobjektiv
Axiale Fokusgröße (Tiefenauflösung) < 1300nm FWHM bei 532nm
Anregungswellenlänge und 100x/0.70NA Vakuumobjektiv
Minimaler zusätzlicher Platzbedarf des RISE-Systems (ca. 1x1 m²)
durch effiziente und flexible Kopplung des Mikroskops mit der optischen
Peripherie (optische Glasfasern)
Vollständige Integration in das HR-REM ohne dessen Funktionen zu
beeinträchtigen
Direkte Hardware-Positionsübergabe von REM an Raman Position
532 nm Laser mit mindestens 30 mW Ausgangsleistung und geeigneten
Raman-Filtern für Messungen ab 90 rel. cm-1
Erweiterbarkeit der Plattform weitere unabhängige
Anregungswellenlängen (>4) durch modularen Strahlengang.
(Multiwellenlängen-Koppler Konzept)
Umschaltung der Laserlinien ohne Eingriff in den Strahlengang für
z.B. Filterwechsel oder Gitteranpassung im Spektrometer
Softwaregesteuerte und stufenlose sowie vom Laser selbst unabhängige
Leistungseinstellung und -messung ohne Eingriff in die Lasersteuerung
mit einer Genauigkeit von 0.1 mW für höchste Reproduzierbarkeit
Leistungsmessung und -einstellung ohne Exposition der Probe möglich
Linsenbasiertes spektral optimiertes Spektrometer für den jeweiligen
Messbereich
300mm fokale Länge des Spektrometers für spektrale Hochauflösung
Spektrale Auflösung (avg.) mit 532nm mit Gitter 600 l/mm
([10]BLA@500nm) = 3,7 cm-1
Spektrale Auflösung (avg.) mit 532nm mit Gitter 1800 l/mm
([11]BLA@500nm) = 1,2 cm-1
Abberationsarmes chromatisches Design zur Minimierung von
Signalform-Verzerrungen und somit erleichtertem Peakfitting
Softwarekontrollierter Gitterwechsel mit bis zu drei gleichzeitig
montierten Gittern ohne manuelle Eingriffe der Benutzer
Mindestens zwei Gitter vorhanden für jeweils Übersichtsspektren im
gesamten Spektralbereich und Hochauflösung mit ca. 1 rel. cm-1/Pixel
Auflösung
Hocheffiziente thermoelektrisch gekühlte Back-Illuminated CCD
Detektoren
Hocheffizienter thermoelektrisch gekühlter BI (Back Illuminated) CCD
Detektor
1024x127 Pixel mit 26 µm Pixelgröße
Peak-Quanteneffizienz von mehr als 90% bei 550 nm
Mit Scanner-Bewegung synchronisierte kontinuierliche Datenaufnahme
der CCD mit mehr als 80 Spektren/s
Parallelisierte Datenverarbeitung in Echtzeit durch FPGA basierte
modulare Controller Architektur für Aufrüstbarkeit
Schnelle Datenverbindung vom Controller zum PC
Modulares Systemkonzept
Modular wachsender Strahlengang ohne gemeinsame optische Bank
garantiert zukünftige Erweiterbarkeit um weitere Spektrometer, Laser
oder vergleichbares
zu verbinden
II.2.5)Zuschlagskriterien
Die nachstehenden Kriterien
Preis
II.2.6)Geschätzter Wert
Wert ohne MwSt.: 620 168.00 EUR
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Beginn: 01/12/2021
Ende: 28/02/2022
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben
Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
- Eintrag in Berufs- und Handelsregister des Staates, in dem sie
niedergelassen sind (soweit vorhanden)
- Angaben über den Umsatz des Bieter, in dem Tätigkeitsbereich des
Auftrags, in den letzten 3 Geschäftsjahren
Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
entfällt
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
- Eintrag im Berufs- und Handelsregister, in dem sie niedergelassen
sind (soweit vorhanden)
- Erklärung, aus der die durschnittliche jährliche Beschäftigungszahl
des Unternehmens und die Zahl seiner Führungskräfte in den letzten 3
Jahren ersichtlich sind
- geeignete Referenzen über fürher ausgeführte Liefer- und
Dienstleistungsaufträge in Form einer Liste, der in den letzten
höchstens 3 Jahren erbrachten wesentlichen Liefer- und
Dienstleistungen, mit Angabe des Wertes, des Liefer- bzw.
Erbringungszeitpunktes, sowie des öffentlichen oder privaten Empfängers
Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
Gemäß besonderen Vertragsbedingungen der Ausschreibung
Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 08/11/2021
Ortszeit: 09:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis: 08/12/2021
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag: 09/11/2021
Ortszeit: 10:00
Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
VI.3)Zusätzliche Angaben:
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der
Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Postfach 101364
Ort: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land: Deutschland
E-Mail: [12]post@lds.sachsen.de
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
06/10/2021
References
6. mailto:Beschaffungswesen@fh-zwickau.de?subject=TED
7. http://www.fh-zwickau.de/
8. https://www.evergabe.de/unterlagen/2450976/zustellweg-auswaehlen
9. https://www.evergabe.de/
10. mailto:BLA@500nm?subject=TED
11. mailto:BLA@500nm?subject=TED
12. mailto:post@lds.sachsen.de?subject=TED
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