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Öffentliche Ausschreibungen

Titel : DE-Aachen - Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Dokument-Nr. ( ID / ND ) : 2019051309191291776 / 218252-2019
Veröffentlicht :
13.05.2019
Angebotsabgabe bis :
14.06.2019
Dokumententyp : Ausschreibung
Vertragstyp : Lieferauftrag
Verfahrensart : Offenes Verfahren
Unterteilung des Auftrags : Gesamtangebot
Zuschlagkriterien : Wirtschaftlichstes Angebot
Produkt-Codes :
31712100 - Mikroelektronische Maschinen und Geräte
38810000 - Industrieprozesssteuerungsgeräte
42900000 - Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
42942200 - Vakuumöfen
DE-Aachen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte

2019/S 91/2019 218252

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag
Legal Basis:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1)Name und Adressen
RWTH Aachen University
Wüllnerstr. 5
Aachen
52062
Deutschland
Kontaktstelle(n): Abt. 7.3 Einkauf & Zollangelegenheiten
Telefon: +49 2418094200
E-Mail: [1]beschaffung@zhv.rwth-aachen.de
Fax: +49 2418092251
NUTS-Code: DEA2D

Internet-Adresse(n):

Hauptadresse: [2]http://www.rwth-aachen.de
I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
[3]https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYC7/document
s
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
[4]https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYC7
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5)Haupttätigkeit(en)
Bildung

Abschnitt II: Gegenstand
II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

115 Physical Vaporphase Deposition
Referenznummer der Bekanntmachung: 10012839
II.1.2)CPV-Code Hauptteil
31712100
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Physical Vaporphase Deposition PVD (Sputterdepositionsanlage).
II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
38810000
42900000
42942200
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DEA2D
Hauptort der Ausführung:

52074 Aachen
II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Bei der zu beschaffenden Anlage CDPP_PVD handelt es sich um eine
Sputterdepositionsanlage (PVD). Die Anlage muss über 4 Sputtertargets
verfügen und muss sowohl im DC-, als auch RF-Magnetron Sputtermodus
betrieben werden können. Darüber hinaus muss die Anlage über eine
Wafer-Vorreinigung verfügen, mit deren Hilfe organische und
anorganische Anhaftungen, sowie natürliche Oxide von der
Waferoberfläche reaktiv und/oder mechanisch desorbiert werden können.

Insbesondere muss die Anlage über einen Kassetten-Lademechanismus
verfügen, der es erlaubt mehrere Wafer (verschiedener Größe) und/oder
Einzelproben in einem Batch-Mode Verfahren sequentiell zu
beschichten, ohne den Vakuumzustand aufzuheben.

Darüber hinaus muss die Anlage Through-The-Wall installiert werden,
d. h., die Be-/Entladung muss über eine separate Vakuumkammer (hier
Kassetten-Ladekammer) erfolgen, die vom ISO5-Reinraum des CDPP
zugänglich ist, während die Hauptkonsole, die u. a. die Prozesskammer
beinhalten muss, im ISO7-Reinraum des CDPP installiert werden muss. Der
Transfer zwischen diesen Kammern muss automatisch erfolgen.
II.2.5)Zuschlagskriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
II.2.6)Geschätzter Wert
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 8
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
Angaben
III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal

Abschnitt IV: Verfahren
IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
Beschaffungssystem
IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 14/06/2019
Ortszeit: 12:00
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
eingereicht werden können:
Deutsch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis: 06/09/2019
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag: 17/06/2019
Ortszeit: 10:00

Abschnitt VI: Weitere Angaben
VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
VI.3)Zusätzliche Angaben:

Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YYC7
VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Vergabekammer Rheinland
Zeughaustr. 2-10
Köln
50606
Deutschland
Telefon: +49 221-1473116
E-Mail: [5]vergabekammer@bez.reg-koeln.nrw.de
Fax: +49 221-1472889

Internet-Adresse:
[6]http://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer
VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
erteilt
VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
09/05/2019

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References

1. mailto:beschaffung@zhv.rwth-aachen.de?subject=TED
2. http://www.rwth-aachen.de/
3. https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYC7/documents
4. https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYC7
5. mailto:vergabekammer@bez.reg-koeln.nrw.de?subject=TED
6. http://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer

 
 
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