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Ausschreibung: Schleusenkammer (load lock chamber) - DE-Frankfurt (Oder)
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Dokument Nr...: 850665-2017 (ID: 2017061913484174265)
Veröffentlicht: 19.06.2017
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  Schleusenkammer (load lock chamber)
Vergabe: IHP-2017-056 12.06.2017
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 1/4
12.06.2017 15:45 Uhr - VMS 7.1.1.2  2009 - 2017 cosinex GmbH
Bekanntmachung VOL/A: Schleusenkammer (load lock chamber)
Vergabenummer IHP-2017-056
Bezeichnung Schleusenkammer (load lock chamber)
Art der Vergabe Öffentliche Ausschreibung
Vergabe- und
Vertragsordnung
VOL/A
Art des Auftrags Lieferleistung
Auftraggeber
Adresse der zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle
Bezeichnung IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Kontaktstelle Beschaffung
Postanschrift Im Technologiepark 25
Ort 15236 Frankfurt (Oder)
Telefon +49 335-5625-359
Fax +49 335-5625-25359
E-Mail rohner@ihp-microelectronics.com
Adresse der den Zuschlag erteilenden Stelle
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Stelle, bei der die Angebote einzureichen sind
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Allgemeine Fach- und Rechtsaufsicht
Bezeichnung IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Kontaktstelle Beschaffung
Postanschrift Im Technologiepark 25
Ort 15236 Frankfurt (Oder)
Telefon +49 335-5625-359
Fax +49 335-5625-25359
E-Mail rohner@ihp-microelectronics.com
Auftragsgegenstand
Leistungsbeschreibung
Art und Umfang der Leistung Schleusenkammer (load lock chamber)
Unser MBE 600 -Kammersystem der Firma DCA wird durch ein Buffersystem mit 4
Zoll Wafern versorgt.
Zum Transport der Wafer in der Bufferline ist ein Schienensystem installiert
auf dem ein Trolley, mittels Zahnstange unter dem Trolley und mit ex-situ
permanentmagnetisch gekoppelten Antrieben, entsprechend positioniert wird.
Dieses Schienen- und Antriebssystem befindet sich auch in dieser herzustellenden
Schleusenkammer.
In dieser Schleusenkammer werden dann die eingeschleusten Wafer bis 250GradC
getempert und anschließend entsprechend der Anforderungen im Kammersystem
verteilt.
Spezifikation:
Die Schleusenkammer mit der Länge von 530mm ist UHV-Kompatibel ausgeführt.
Es ist eine Rohrkonstruktion mit beidseitigen DN200CF-Standard -Verbindern.
Vergabe: IHP-2017-056 12.06.2017
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 2/4
12.06.2017 15:45 Uhr - VMS 7.1.1.2  2009 - 2017 cosinex GmbH
Die eine Seite dieser Kammer beschließt ein Plattenventil DN200CF manuell
bedienbar, der Hersteller ist die Firma VAT.
Auf der anderen Seite beschließt eine Adapterkonstruktion DN200CF auf
Dichtplatte mit Vitonring und von Hand bedienbarer Schnellverschraubung diese
Kammer.
Ein ex-situ gekoppelter Zahnstangenantrieb über DN40CF treibt wie oben
beschrieben den Trolley.
Integriert sind zwei Laufschienen für diesen Trolley, entsprechend der Länge der
Kammer.
Die Maße der Konstruktion und der Positionierung dieser Schienen sind vor Ort zu
entnehmen.
Integriert ist oberseitig eine BA-Ionisationsvakuummessröhre DN40CF Hersteller
Granville Phillips sowie die Stromzuführung DN40CF der Halogenlampen. Über die
Kammerlänge sind 2 Stück Halogen Infrarotheizer installiert.
Unterseitig ist eine Vorvakuum-Messröhre Granville Phillips Convectron Gauge
sowie ein N2- Gaseinlaßventil über DN40CF installiert. DerN2-Einlass erfolgt über
ein Handventil.
Seitlich ist der Vakuumanschluß DN40CF konstruiert, die Vakuumversorgung
erfolgt durch EDWARDS Scroll nXD6i und PFEIFFER Turbo HiPace 80,DN63CF.
Die Schleusenkammer wird auf der einen Seite am VAT Plattenventil mit der
Bufferline verbunden, auf der anderen Seite mittels Bodenstütze (Edelstahl)
positioniert.
Die benötigten Heizcontroller, Vakuumcontroller und die Vakuumsteuerung werden
gemeinsam in einen 19Zoll Einschub 4HE positioniert.
Die Übergabe der Schleusenkammer erfolgt mit einem Funktionstest:
-Endvakuum: < 5  10-7 mbar nach Temperung 200GradC/20 min Ausheizzeit.
-Temperung: max.250GradC Ausheizzeit und Temperatur variabel mittels
Heizcontroller einstellbar
-Interlock-Ausheizen und Vakuum, Schwellwert 5x 10-5variabel
-Vakuum, Ein/Aus und Vakuum-Ventilsteuerung Auf/Zu
Leistungsorte
Hauptleistungsort
Bezeichnung IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift Im Technologiepark 25
Ort 15236 Frankfurt (Oder)
Ausführungsfristen
Dauer (ab Auftragsvergabe) 1 Monat(e)
Fristen
Bezeichnung Datum, ggf. Uhrzeit
Anforderung der Vergabeunterlagen bis 10.07.2017
Frist zur Einreichung von Aufklärungsfragen (u.a.) 10.07.2017
Angebotsfrist 11.07.2017 12:00 Uhr
Zuschlags-/Bindefrist 31.07.2017
Wertung
Wertungsmethode der Vergabe
Wertungsmethode Niedrigster Preis
Lose
Etwaige Vorbehalte wegen Teilung in Lose, Umfang der Lose und mögliche Vergabe der
Lose an verschiedene Bieter
Die Vergabe ist nicht in Lose aufgeteilt.
Vergabe: IHP-2017-056 12.06.2017
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 3/4
12.06.2017 15:45 Uhr - VMS 7.1.1.2  2009 - 2017 cosinex GmbH
Nachweise / Bedingungen
Auflagen zur persönlichen Lage
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Angaben und Formalitäten,
die erforderlich sind,
um die Einhaltung der
Auflagen zur wirtschaftlichen
und finanziellen
Leistungsfähigkeit zu
überprüfen
-Bescheinigung in Steuersachen
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen
Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Angaben und Formalitäten,
die erforderlich sind,
um die Einhaltung der
Auflagen zur technischen
Leistungsfähigkeit zu
überprüfen
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur
ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den
folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
-Referenzgeber:
-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:
Vorbehaltene Aufträge
Sind die Aufträge
vorbehalten?
Nein
Vom Unternehmen einzureichende Unterlagen
Mit dem Angebot vorzulegende Unterlagen
Sonstige Unterlagen
 Eigenerklärung ILO (mittels Eigenerklärung vorzulegen)
 Tariftreue (mittels Eigenerklärung vorzulegen)
 Frauenförderung (mittels Eigenerklärung vorzulegen)
Vergabeunterlagen
Bereitstellung der Vergabeunterlagen
Postalischer Versand Nein
Elektronisch Ja, mittels Vergabemarktplatz "VMP Brandenburg"
Angaben zu Preis und Zahlungsbedingungen
Die Unterlagen sind
kostenpflichtig
Nein
Angebote
Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Beginn der Angebotsöffnung 11.07.2017
Ort Frankfurt (Oder)
Angebotsabgabe
Art der akzeptierten
Angebote
Postalischer Versand
Nebenangebote
Nebenangebote werden nicht zugelassen.
Vergabe: IHP-2017-056 12.06.2017
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 4/4
12.06.2017 15:45 Uhr - VMS 7.1.1.2  2009 - 2017 cosinex GmbH
Verfahren/Sonstiges
Angaben zum Verfahren
Sonstige Informationen für
Bieter/Bewerber
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz
Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den
Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren
informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie
müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich
geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet
haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für
das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig
- für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer
Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht
werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID CXSTYYDYYA6
Source: 4 http://www.bund.de/IMPORTE/Ausschreibungen/vmp-bb/2017/06/59074.html
Data Acquisition via: p8000000
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             Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
       The Office for Official Publications of the European Communities
                The Federal Office of Foreign Trade Information
 Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de