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Ausschreibung: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion - DE-Dresden
Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
Dokument Nr...: 186206-2017 (ID: 2017051809051817393)
Veröffentlicht: 18.05.2017
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  DE-Dresden: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
   2017/S 95/2017 186206
   Vorinformation
   Diese Bekanntmachung ist ein Aufruf zum Wettbewerb
   Lieferauftrag
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
   Bautzner Landstrasse 400
   Dresden
   01328
   Deutschland
   Kontaktstelle(n): Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
   Telefon: +49 3512603076
   E-Mail: [1]vergabe@hzdr.de
   Fax: +49 3512603166
   NUTS-Code: DED21
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [2]http://www.hzdr.de
   I.2)Gemeinsame Beschaffung
   I.3)Kommunikation
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten
   Kontaktstellen
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Andere: research institution
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Andere Tätigkeit: research
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Delivery, Installation and Commissioning of a thin film sputter
   deposition tool.
   Referenznummer der Bekanntmachung: EUVV1706
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   31640000
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   A planetary sputter-up system with base vacuum better than 3x10-8 mbar.
   The system should consist of 5-6 sample holder positions for sputter
   deposition including 4 single 3 inch magnetron guns with 4 DC + 2 RF
   power supplies and 1 confocal cluster with 4 magnetrons for 2 inch
   targets each, with 4 DC and 2 RF power supplies, one optional spare
   deposition position for later upgrades. If power supplies for 2 and 3
   inch guns are identical and inter-changeable then a total of 7 DC and 3
   RF power supply units for all 8 sputter sources will be sufficient.
   Max. power for DC power supplies is 1 kW. The magnetrons with water
   cooling and individual gas inlets should be able to sputter also
   ferromagnetic materials. Many window ports and additional ports where
   possible for optional upgrades and extensions and additionally a
   user-friendly software for automated operation (e.g. for
   multilayer-deposition) should be included.
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   Wert ohne MwSt.: 500 000.00 EUR
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DED21
   Hauptort der Ausführung:
   Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.
   Bautzner Landstrasse 400
   01328 Dresden
   Germany.
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   System requirements:
    Sample holder rotatable and heatable up to 800°C (pressure<1x10-6
   mbar at 750°C), for 3inch wafers, thickness uniformity better than +-5
   % over complete sample
    Turbo pumped loadlock for 5-10 wafers
    Target-sample-distance: 100-150 mm in general. One 3-inch sputter gun
   with possibility to reduce distance down to 20mm. Another 3inch sputter
   gun with option to increase distance for deposition in magnetic field
   without disturbing sputter characteristics (if possible include
   integration of magnetic field on sample holder for in-plane and
   out-of-plane fields up to 150mT)
    Constant speed shutters in close sample proximity to allow growth of
   wedge layers in one (x), better in two (x and y) directions for at
   least one 3inch target sputter position
    Sputtering in Ar with possibility to have background pressure of O2
   and N2
    Magnetrons should run between 7x10-4 and 5x10-2 mbar Ar pressure
    Sample pre-cleaning/sputter option via sample bias/sample RF or
   additional ion source.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
   nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
   II.2.6)Geschätzter Wert
   Wert ohne MwSt.: 500 000.00 EUR
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Expressions of interest must be submitted until to the date stated in
   IV.2.2) at [3]vergabe@hzdr.de. The expression of interest presenting
   our reference EUVV1706 can be done informal.
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Verhandlungsverfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang von Interessenbekundungen
   Tag: 21/06/2017
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch, Englisch
   IV.2.5)Voraussichtlicher Beginn der Vergabeverfahren:
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Vergabekammer des Bundes
   Villemomblerstr. 76
   Bonn
   53123
   Deutschland
   Telefon: +49 2289499-0
   Fax: +49 2289499-163
   VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   Vergabekammer des Bundes
   Villemomblerstr. 76
   Bonn
   53123
   Deutschland
   Telefon: +49 2289499-0
   Fax: +49 2289499-163
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   16/05/2017
References
   1. mailto:vergabe@hzdr.de?subject=TED
   2. http://www.hzdr.de/
   3. mailto:vergabe@hzdr.de?subject=TED
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             Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
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                The Federal Office of Foreign Trade Information
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