Ausschreibung: Deutschland Installation (außer Software) Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter - DEU-Duisburg Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Installation (außer Software) Dokument Nr...: 621637-2026 (ID: 2026090907491045741) Veröffentlicht: 09.09.2026 * DEU-Duisburg: Deutschland Installation (außer Software) Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter 2026/S 174/2026 621637 Deutschland Installation (außer Software) Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter OJ S 174/2026 09/09/2026 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Dienstleistungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Universität Duisburg-Essen E-Mail: vergabe@uni-due.de Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung des öffentlichen Rechts Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter Beschreibung: Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D- Halbleiter Kennung des Verfahrens: 70f04a7e-7918-4924-ba27-74c775dac2a1 Interne Kennung: 61-26 SF Verfahrensart: Offenes Verfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Dienstleistungen Haupteinstufung (cpv): 51000000 Installation (außer Software) Zusätzliche Einstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 2.1.2. Erfüllungsort Stadt: Duisburg Land, Gliederung (NUTS): Duisburg, Kreisfreie Stadt (DEA12) Land: Deutschland 2.1.4. Allgemeine Informationen Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXS0YEQDYYVZGA33# Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein. Bewerber-/Bieterfragen können nur über das Bewerber-/Bietertool Kommunikation auf der Vergabeplattform www.evergabe. nrw.de bis zur Fristsetzung gestellt werden und werden nur über die Vergabeplattform beantwortet. Der Auftraggeber weist darauf hin, dass interessierte Unternehmen im Falle von Bewerber-/Bieterfragen und/oder notwendigen Änderungen an den Vergabeunterlagen nur kontaktiert werden können, wenn sie sich unter Angabe einer E-Mailadresse freiwillig bei der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de registrieren. Soweit eine freiwillige Registrierung nicht erfolgt, können keine zusätzlichen Informationen übermittelt werden. Nicht registrierte Bewerber/Bieter sind selber dafür verantwortlich, auf der Vergabeplattform regelmäßig zu prüfen, ob neue Nachrichten vorliegen. Das Risiko der vollständigen und lesbaren Übermittlung des Auskunftsersuchens trägt der anfragende Bewerber/Bieter. Der Antrag auf Nachprüfung ist gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt. Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 2.1.6. Ausschlussgründe Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 129 des Strafgesetzbuchs (Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetzbuchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen im Ausland). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 129a des Strafgesetzbuchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen im Ausland). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 261 des Strafgesetzbuchs ((Geldwäsche; Verschleierung unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte) und § 89c des Strafgesetzbuchs (Terrorismusfinanzierung) oder wegen der Teilnahme an einer solchen Tat oder wegen der Bereitstellung oder Sammlung finanzieller Mittel in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz oder teilweise dazu verwendet werden oder verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 des Strafgesetzbuchs zu begehen. Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Betrug: Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 263 des Strafgesetzbuchs (Betrug) oder nach § 264 des Strafgesetzbuchs (Subventionsbetrug), soweit sich diese Straftaten gegen den Haushalt der Europäischen Union oder gegen Haushalte richtet, die von der Europäischen Union oder in ihrem Auftrag verwaltet werden. Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Korruption: Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach § 299 des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr), §§ 299a und 299b des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im Gesundheitswesen), oder nach § 108e des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung von Mandatsträgern) oder § 108f des Strafgesetzbuchs (unzulässige Interessenwahrnehmung), oder nach den §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuchs (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils auch in Verbindung mit § 335a des Strafgesetzbuchs (Ausländische und internationale Bedienstete), oder nach Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internationaler Bestechung (Bestechung ausländischer Abgeordneter im Zusammenhang mit internationalem Geschäftsverkehr). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn sie Kenntnis davon haben, dass eine Person, deren Verhalten ihnen nach §123 III GWB zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt ist oder gegen denen den Bieter eine Geldbuße nach §30 OWiG rechtskräftig festgesetzt worden ist wegen einer Straftat nach den §§ 232, 232a Absatz 1 bis 5, den §§ 232b bis 233a des Strafgesetzbuches (Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit, Ausbeutung der Arbeitskraft, Ausbeutung unter Ausnutzung einer Freiheitsberaubung). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn er seinen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben nicht nachgekommen ist und dies durch eine rechtskräftige Gerichts- oder bestandskräftige Verwaltungsentscheidung festgestellt wurde. Dies gilt auch wenn eine Verletzung in sonstiger geeigneter Weise nachweislich vorliegt. Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: Bieter werden zu jedem Zeitpunkt des Vergabeverfahrens ausgeschlossen, wenn er seinen Verpflichtungen zur Zahlung von Abgaben oder Beiträgen zur Sozialversicherung nicht nachgekommen ist und dies durch eine rechtskräftige Gerichts- oder bestandskräftige Verwaltungsentscheidung festgestellt wurde oder eine sonstige vergleichbare Verletzung gegen die genannte Verpflichtung vorliegt. Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass das Unternehmen bei der Ausführung öffentlicher Aufträge nachweislich nicht gegen geltende umweltrechtliche Verpflichtungen verstoßen hat. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass keine Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen vorliegen. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass bei der Ausführung öffentlicher Aufträge keine nachweislichen Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen vorliegen. Dies umfasst insbesondere Verstöße gegen § 21 des Arbeitnehmer-Entsendegesetzes, § 98c des Aufenthaltsgesetzes, § 19 des Mindestlohngesetzes, § 21 des Schwarzarbeitsbekämpfungsgesetzes und § 22 des Lieferkettensorgfaltspflichtengesetzes vom 16. Juli 2021 (BGBl. I S. 2959). Hierfür ist die Eigenerklärung Ausschlussgründe (Formular 521) von Bieter mit dem Angebot abzugeben. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen Zahlungsunfähigkeit: Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass sie nicht zahlungsunfähig sind. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass über das Vermögen des Unternehmens kein Insolvenzverfahren beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse abgelehnt worden ist, sich das Unternehmen im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass das Unternehmen im Rahmen der beruflichen Tätigkeit nachweislich keine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität des Unternehmens infrage gestellt wird. Hiervon ist ebenfalls die Kenntnis davon erfasst, dass eine Person, deren Verhalten nach §123 III GWB dem Unternehmen zuzurechnen ist, diese Voraussetzungen nicht erfüllt. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass über das Vermögen des Unternehmens kein mit einer Insolvenz vergleichbares Verfahren beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse abgelehnt worden ist, sich das Unternehmen im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: Bieter müssen mittels Eigenerklärung (Ausschlussgründe, Formular 521) nachweisen, dass das Unternehmen im Rahmen der beruflichen Tätigkeit nachweislich keine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität des Unternehmens infrage gestellt wird. Hiervon ist ebenfalls die Kenntnis davon erfasst, dass eine Person, deren Verhalten nach §123 III GWB dem Unternehmen zuzurechnen ist, diese Voraussetzungen nicht erfüllt. Auf das Formular 312_322 EU wird hingewiesen. Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: 5. Los 5.1. Los: LOT-0001 Titel: Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter Beschreibung: 1. Allgemeine Beschreibung: Die Universität Duisburg-Essen erforscht Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Zur Durchführung der Forschungsarbeiten wird eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Herstellung von III-Nitrid Halbleiter Bauelementen muss die vorhandene Anlage zur metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) der Firma Aixtron (Seriennummer CS17580) für aktuelle und kommende Forschungsprojekte teilweise erneuert und erweitert werden. Erneuert werden folgende Komponenten: - Die Prozesspumpe - Der Showerhead Gaseinlass - 4x Rückschlagventile Die Erweiterung umfasst Leitungen für die Quellmaterialien Triethylboran und Ethen, welche in die Anlage integriert werden müssen. Dazu sind für jedes Material entsprechende Arbeiten am Gasversorgungssystem (engl. gas panel) durchzuführen. Die Materialien werden durch entsprechende Fluss- und Druckregler kontrolliert in den Reaktor geführt (detailliert in der technischen Beschreibung aufgeführt). Die vollständige Beschreibung ist der Leistungsbeschreibung zu entnehmen. Interne Kennung: 61-26 SF 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Dienstleistungen Haupteinstufung (cpv): 51000000 Installation (außer Software) Zusätzliche Einstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Optionen: Beschreibung der Optionen: Optionale Leistung: Neben den Mindestanforderung sind nachfolgende Leistungen optional anzubieten. Diese sind gesondert im Angebot anzugeben und bepreisen. Mit der Zuschlagserteilung entscheidet der Auftraggeber, welcher der optionalen Leistungen zusätzlich beauftragt werden. Prozesssupports: Da durch den Austausch prozessrelevanter Anlagenkomponenten Auswirkungen auf die Prozessführung nicht ausgeschlossen werden können, ist als optionale Leistung ein Prozess-support nach Abschluss der Umbauarbeiten anzubieten. Der optionale Prozesssupport umfasst insbesondere die Unterstützung bei der Wiederaufnahme des Anlagenbetriebs, die Überprüfung und Optimierung von Prozessparametern sowie die Begleitung erster Prozessläufe nach der Umrüstung umfassen. Der Bieter hat den Umfang, die Dauer, die enthaltenen Leistungen sowie die hierfür anfallen-de Vergütung des optional angebotenen Prozesssupports im Angebot darzustellen und zu bepreisen. 5.1.2. Erfüllungsort Stadt: Duisburg Land, Gliederung (NUTS): Duisburg, Kreisfreie Stadt (DEA12) Land: Deutschland 5.1.3. Geschätzte Dauer Laufzeit: 6 Monate 5.1.6. Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:other-sme# 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.9. Eignungskriterien Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung Kriterium: Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität Beschreibung des Eignungskriteriums: 521 Eigenerklärung Ausschlussgründe (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Erklärung das keine zwingende Ausschlussgründe nach §123 GWB vorliegen. Aufgrund fehlender Auswahlmöglichkeiten unter wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen: Eigenerklärung Formular 521 (EU) ist auszufüllen. Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Eignungskriteriums: 523 - Eigenerklaerung Sanktionspaket (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Aufgrund fehlender Auswahlmöglichkeiten unter wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen: Eigenerklärung Sanktionen (Formular 523) ist auszufüllen. Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe Beschreibung des Eignungskriteriums: 533a Informationen zu Unterauftraegen bei Angebotsabgabengsleiher (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe Beschreibung des Eignungskriteriums: 533b Nachweis Unterauftragnehmer (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe Beschreibung des Eignungskriteriums: 534a Erklaerung Eignungsleihe (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe Beschreibung des Eignungskriteriums: 534b Erklaerung Eignungsleihe Haftungserklärung (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Kriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe Beschreibung des Eignungskriteriums: Angabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Angabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt: ausgefüllte Bewerber-/Bietergemeinschaftserklärung (Formular 531 EU) bei Unteraufträgen: Erklärung Unteraufträge (Formular 533a EU oder 533b EU) bei Eignungsleihe: Erklärung Eignungsleihe (Formular 534a EU oder 534b EU) Kriterium: Referenzen zu bestimmten Dienstleistungen Beschreibung des Eignungskriteriums: Referenzen (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): a) Referenzen Mit dem Angebot sind mindestens drei Referenz(en) aus den letzten 3 Jahren einzureichen, die vergleichbare Arbeiten an Aixtron-MOVPE Anlagen umfasste. Die Vergleichbarkeit liegt vor, wenn: Installation und Inbetriebnahme neuer Aixtron MOVPE Systemen. Erweiterung einer bestehenden Aixtron MOVPE Anlage um ein oder mehrere Quell- materialien. Servicearbeiten an Aixtron Showerhead Reaktoren, wie Austausch und Reinigung eines ShowerheadsUmbaumaßnahmen am Gas-Panel einer Aixtron MOVPE Anlage mit anschließender Prüfung der Leckrate. Sämtliche o. g. Kriterien müssen erfüllt sein. Der Nachweis muss jedoch nicht durch einen einzelnen Referenzauftrag erfolgen. Es genügt, wenn die Gesamtheit der Referenzaufträge jedes Kriterium mindestens einmal nachweist.. Zu jedem Referenzprojekt ist der beiliegende Referenzbogen auszufüllen und mit folgenden Inhalten: Angabe der Projektbeschreibung, Leistungsumfang und Leistungszeitraum, Auftraggeber mit Ansprechpartner. Die personenbezogenen Kontaktdaten sind nur mit dem Einverständnis der Referenzgeber einzureichen. Ansonsten hinterlegen Sie bitte nur das Unternehmen und die entsprechende Abteilung. Sofern die angegebenen Referenzen im Rahmen der Überprüfung negativ auffallen, werden die Angebote nicht berücksichtigt Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung Beschreibung des Eignungskriteriums: Berufshaftpflichtversicherung (Mit dem Angebot; Mittels Dritterklärung): Mit dem Angebot ist ein Nachweis über den Abschluss einer Berufshaftpflichtversicherung mit folgenden Deckungssummen nachzuweisen: Personenschäden, Sachschäden, Vermögensschäden: 2.500.000 EUR je Schadensfall pro Jahr Es genügt auch die Vorlage einer Bescheinigung einer Versicherung, dass diese bereit ist, im Auftragsfall eine Versicherung mit den entsprechenden Deckungssummen mit dem Bewerber abzuschließen. Bitte beachten: Wenn ein Nachweis mit einer zu niedrigen Deckungssumme eingereicht wird, führt dies zwingend zum Ausschluss. Eine Nachforderung einer höheren Deckungssumme ist ausgeschlossen. Kriterium: Referenzen zu bestimmten Dienstleistungen Beschreibung des Eignungskriteriums: Referenzen - a) Referenzen Mit dem Angebot sind mindestens drei Referenz(en) aus den letzten 3 Jahren einzureichen, die vergleichbare Arbeiten an Aixtron-MOVPE Anlagen umfasste. Die Vergleichbarkeit liegt vor, wenn: - Installation und Inbetriebnahme neuer Aixtron MOVPE Systemen - Erweiterung einer bestehenden Aixtron MOVPE Anlage um ein oder mehrere Quell-materialien - Servicearbeiten an Aixtron Showerhead Reaktoren, wie Austausch und Reinigung ei-nes Showerheads - Umbaumaßnahmen am Gas-Panel einer Aixtron MOVPE Anlage mit anschließender Prüfung der Leckrate Zu jedem Referenzprojekt ist der beiliegende Referenzbogen auszufüllen und mit folgenden Inhalten: - Angabe der Projektbeschreibung, - Leistungsumfang und Leistungszeitraum, - Auftraggeber mit Ansprechpartner und Telefonnummer. Die personenbezogenen Kontaktdaten sind nur mit dem Einverständnis der Referenzgeber einzureichen. Ansonsten hinterlegen Sie bitte nur das Unternehmen und die entsprechende Abteilung. Sofern die angegebenen Referenzen im Rahmen der Überprüfung negativ auffal- len, werden die Angebote nicht berücksichtigt. Kriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung Beschreibung des Eignungskriteriums: Berufshaftpflichtversicherung - b) Berufshaftpflichtversicherung Mit dem Angebot ist ein Nachweis über den Abschluss einer Berufshaftpflichtversicherung mit fol-genden Deckungssummen nachzuweisen: Personenschäden, Sachschäden, Vermögensschäden: 2.500.000 EUR je Schadensfall pro Jahr Es genügt auch die Vorlage einer Bescheinigung einer Versicherung, dass diese bereit ist, im Auf-tragsfall eine Versicherung mit den entsprechenden Deckungssummen mit dem Bewerber abzuschlie-ßen. Bitte beachten: Wenn ein Nachweis mit einer zu niedrigen Deckungssumme eingereicht wird, führt dies zwingend zum Ausschluss. Eine Nachforderung einer höheren Deckungssumme ist ausgeschlossen. 5.1.11. Auftragsunterlagen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 01/10/2026 23:59:59 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice /CXS0YEQDYYVZGA33/documents Ad-hoc-Kommunikationskanal: URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YEQDYYVZGA33 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice /CXS0YEQDYYVZGA33 Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig Frist für den Eingang der Angebote: 09/10/2026 12:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Dauer, während der das Angebot gültig bleiben muss: 60 Tage Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden. Zusätzliche Informationen: Grundsätzlich werden fehlende Unterlagen nachgefordert, insbesondere bevor es zu einem Ausschluss kommt. Bitte beachten: Sofern eine Haftpflichtversicherung gefordert wurde und ein Nachweis mit einer zu niedrigen Deckungssume eingereicht wird, führt dies zwingend zum Ausschluss. Eine Nachforderung eines höheren Deckungsnachweises ist ausgeschlossen. Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Siehe Vergabeunterlagen Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich Aufträge werden elektronisch erteilt: ja Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja Finanzielle Vereinbarung: Vorauszahlung Wird eine Anzahlungsleistung vom Lieferanten benötigt, so erfolgt diese nach Vorlage der Anzahlungsrechnung (inkl. MwSt.) und einer selbstschuldnerischen, unbefristet gültigen Anzahlungsbürgschaft einer Bank, die nach erfolgter Abnahme zurückgegeben wird. Alle mit der Bürgschaft einhergehenden Kosten werden vom Auftragnehmer getragen und sind nicht im Angebot aufzuführen. Folgendes Anzahlungsmodell wird akzeptiert (höhere Anzahlungen bei Vertragsabschluss und Lieferung werden nicht akzeptiert): 40 % Abschlagszahlung bei Auftragsbestätigung 50 % bei Lieferung und 10 % nach Abnahme Im Falle, dass o.g. Ausnahmeregel in Anspruch genommen werden muss, ist dies im Angebot niederzulegen. 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Vergabekammer Rheinland Informationen über die Überprüfungsfristen: §160 GWB: Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen. Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen. Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in der Bekanntmachung genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union. Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Universität Duisburg-Essen Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Universität Duisburg-Essen 8. Organisationen 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: Universität Duisburg-Essen Registrierungsnummer: DE811272995 Postanschrift: Forsthausweg 2 Stadt: Duisburg Postleitzahl: 47057 Land, Gliederung (NUTS): Duisburg, Kreisfreie Stadt (DEA12) Land: Deutschland Kontaktperson: Vergabestelle/Strategischer Einkauf E-Mail: vergabe@uni-due.de Telefon: +49 2033792113 Fax: +49 2033791217 Internetadresse: https://www.uni-due.de/ Rollen dieser Organisation: Beschaffer Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt 8.1. ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Rheinland Registrierungsnummer: DE812110859 Postanschrift: c/o Bezirksregierung Köln, Zeughausstr. 2-10 Stadt: Köln Postleitzahl: 50667 Land, Gliederung (NUTS): Köln, Kreisfreie Stadt (DEA23) Land: Deutschland E-Mail: VKRheinland@bezreg-koeln.nrw.de Telefon: +49 2211473055 Fax: +49 2211472889 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: cc3b256d-fda5-4717-8a20-f7d6b29c8ff6 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 08/09/2026 07:25:55 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch ABl. S Nummer der Ausgabe: 174/2026 Datum der Veröffentlichung: 09/09/2026 Referenzen: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YEQDYYVZGA33 https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YEQDYYVZGA33/documents https://www.uni-due.de/ http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202609/ausschreibung-621637-2026-DEU.txt -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de